摇了摇头，“没用的，浸入式通过水滴折射确实可以跳过157nm，直接做到134nm波长，而后就会被65nm的最高生产分辨率给卡住，到时候怎么办？</br>小卿，光刻是要遵循瑞利公式的，λ为光源波长、na为数值孔径、k为光刻工艺系数，三者共同决定投影式光刻机分辨率cd。</br>光刻机的分辨率与光源波长成正比，想要制造出更小的尺寸，就需要缩短光源的波长，这也是光刻机世代演变的核心。</br>所以，你不管怎么折射，最终还是要通过光源的波长来解决问题。”</br>熟知后事的卿云很清楚，程进说的是对的。</br>浸入式、浸没式、浸润式，其光源都是193nm激光器，随后是根据瑞利公式的另一个参数：孔径，来实现精度的提高。</br>再之后，便是二次曝光技术，同样是基于193nm的光源。</br>而最终，在duv后，asml还是走了波长13.5nm的euv路径。</br>但那是十来年后的事情了。</br>彼时的asml已经一家独大，它的领先优势可以随意切换赛道，但此时的光刻机市场却并非如此。</br>此时还是群雄混战时期，谁先突破，便是赢家通吃。</br>asml与尼康佳能的光刻机之战，其实是一个弱者在走投无路之下，抱着‘光脚的不怕穿鞋的’的赌命心态进行绝地突围的故事。</br>asml能赢，并不在于林本坚的技术有多先进，而是在于林本坚给出了一个商业友好性极强的工艺方案。</br>在asml推出浸入式193nm产品的半年后，尼康也宣布自己的157nm产品以及epl产品样机完成。</br>然而，林本坚的浸入式属于小改进大效果，产品成熟度非常高，所以几乎没有人去订尼康的新品。</br>而半导体产品就是这样的特点，市场说了算。</br>赢得了市场，赢得了迭代的机会。</br>他想了想，还是耐心说道，“老师，您知道，我是一个商人。所以我习惯用商业的角度来看待问题。”</br>拿起矿泉水抿了一口，卿云继续说着，“您说，从投入……或者说对当前工艺的改进角度看，走157nm还是走浸入式193nm容易？”</br>程进茫然的看着他，摇摇头表示不知道，“但是技术路径就在摆着啊，科研是要攻坚克难的。”</br>卿云见状也只能无奈的耸了耸肩膀，“科研是科研的事，但作为一个企业家，我告诉你，我肯定选容易的。</br>有钱有市场我能继续出钱让科研研究下去，没钱我啥事都做不了。”</br>程进闻言嘶了一声，他好像明白了点。</br>卿云哂然一笑，“我们想要追赶别人，最好的法子是什么？”</br>“弯道超车？”</br>程进嗤笑了一声，他表示，这个口号已经喊了20年了，至少在半导体产业来说，是越超越离世界顶尖水平越远。</br>卿云翻了一个白眼，“是让敌人陷入泥潭里。”</br>他双手一摊，“193nm光刻工艺，全世界已经卡了20多年了，我们才刚刚起步，去年华电科45所才开始进行研究。</br>也就是说，从代际差距来看，此时我们和国际没太大区别，对吧？”</br>程进觉得自己牙齿有点疼。</br>特么的，要从这个角度说，确实没啥差距。</br>但特么的光刻机岂止是光源问题？</br>卿云见状笑了笑，“我知道差的还很远，但我们现在看得见对吧？但是如果他们走的慢一点，我们是不是差距就越小？</br>作为商人来说，197nm浸入式立刻可以实现65nm的生产，将现在130nm工艺直接提到半周期。</br>而走干式157nm，他们还需要从现在的130nm开始，连续走好几代才能达到65nm水平。</br>你说，作为商人，我怎么选？”</br>说到这里他顿了顿，“尼康他们之所以坚持157nm，是因为他们已经在这上面投入了太多，他们回不了头。</br>而asml……现在半死不活的，他们在赌命。但是……”</br>卿云定定地望着程进，“老师，如果他们赌成功了呢？”</br>程进闻言愣住了。</br>他并不是一个纯粹的科研人员。</br>他只是一个赶鸭子上架的科研工作者。</br>而且，他的原生家庭，其实也是经商。</br>此时跳出科研工作者的角度来看问题，他反而明白了过来。</br>卿云淡淡的说道，“他死，我不敢说asml永远也研发不出来浸入式，事实上asml和他已经合作